残余气体分析
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| 有机气体残余气体浓度计 | TBD5Gas2290 | 55ppb- | 残余气体浓度监测 | 残余气体分析 |
| 在线气体浓度计 | TCD2220 | 0.01-100% |
残余气体浓度连续分析 热导率气体分析仪主要用于二元气体或准二元混合气体的相对浓度。对氢气或氦气有较高的选择性。 |
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| 四极质谱仪 | QMS2740 | CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb | 残余气体分析是一种可用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测极限 | 残余气体分析 |
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