| 规格 | 技术参数 | 用途 | ||
| 有机气体残余气体检测仪 | HBD5Gas2290 | 55ppb- | 普适型。便携式残余气体浓度检测,一般适合置换系统常压检测，或真空系统在真空泵出口检测。 | |
| 有机气体残余气体浓度计 | TBD5Gas2290 | 55ppb- | 普适型。残余气体浓度连续监测,一般适合置换系统常压检测，或真空系统在真空泵出口检测。 | |
| 有机气体残余气体在线监测系统 | CGA2290 | 55ppb- | 普适型。残余气体浓度连续监测 ，一般适合置换系统常压检测，或真空系统在真空泵出口检测。 | |
| 在线气体浓度计 | TCD2220 | 0.01-100% | 普适型。残余气体浓度连续分析。热导率气体分析仪主要用于二元气体或准二元混合气体的相对浓度。对氢气或氦气有较高的选择性。 可在低真空系统直接安装。 | 残余气体分析仪 |
| 四极质谱仪 | QMS2740 | CH4:10ppb;CO2:10ppb; N2:100ppb;CO:100ppb; H2:100ppb;O2:100ppb | 用于在线监测的真空设备，主要用来检测真空腔中的气体成分和气体浓度。可以达到百万量级的动态范围，优于1amu的分辨率，5×10-4Torr的探测极限 。主要用于氮气、氢气等光学惰性双原子气体。 | |
| 微量气体检测系统 | LGA4812-39370 | ppm~% | 普适型。可用于对紫外有吸收的各种残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。 | |
| 微量气体检测系统 | LGA4812-6060 | ppm~% | 普适型。可用于各种有机碳氢化合物残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。 | |
| 微量气体检测系统 | LGA4821 | ppm~% | 选择性监测。可用于特定残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。 | |
| 微量气体检测系统 | PGA4160 | ppm~% | 选择性监测。可用于特定残余气体在线监测，可在真空系统直接安装。 | 残余气体分析仪 |
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